Es gibt viele Anwendungen, in denen die intelligenten Mess-, Steuerungs- und Regelungseinheiten genauso biegsam sein müssen wie die Gegenstände, in die sie zu integrieren sind. Im Projekt ULTIMUM wird das Wort flexibel nicht allein im Sinne von "anpassungsfähig" und "vielseitig einsetzbar", sondern auch im physikalischen Sinne von "biegsam" benutzt. Dazu wird die Entwicklung industrietauglicher Lösungen zur Herstellung von Siliziumchips mit Dicken von 20 µm und weniger verfolgt.
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