29.11.2006 - 08.01.2007

4. Bekanntmachung

des Bundesministeriums für Bildung und Forschung im Innovationsbereich "Systemintegration" im Rahmenprogramm Mikrosysteme (2004-2009) von Richtlinien zur Förderung im thematischen Schwerpunkt "Mikro-Nano-Integration für die Mikrosystemtechnik (MNI-mst)"

vom 17.11.2006

1. Zuwendungszweck, Rechtsgrundlagen

1.1 Zuwendungszweck

Das Rahmenprogramm Mikrosysteme ordnet sich in die übergeordneten forschungspolitischen Zielstellungen der Innovationsförderung des BMBF ein. Die Fördermaßnahme ist Bestandteil der Hightech-Strategie der Bundesregierung. Sie zielt auf Innovation und Wachstum in Deutschland, daher kommt der Verwertung der Projektergebnisse in Deutschland eine besondere Bedeutung zu. Dabei geht es darum, sowohl Innovationen für die kurzfristige industrielle und gesellschaftliche Wertschöpfung zu realisieren, als auch Zukunftsfelder zu erschließen und damit das Potenzial für künftige Innovationen zu gestalten. Hinzu kommt in der Wissensgesellschaft die immer engere Verknüpfung von Aus- und Weiterbildung mit der fortschreitenden Entwicklung von Technologien.

Das Ziel des Rahmenprogramms Mikrosysteme ist es, in den am Standort Deutschland relevanten Branchen mit der Anwendung von Mikrosystemtechnik (MST) bzw. dem Einsatz von Mikrosystemen Innovationen zu fördern, die ihre Position im globalen Wettbewerb langfristig sichern und ausbauen helfen. Um eine größtmögliche wirtschaftliche Hebelwirkung zu erzielen, wird die anwendungsorientierte Technologieförderung auf Schwerpunktaufgaben gerichtet. Diese Bekanntmachung greift den Themenschwerpunkt "Mikro-Nano-Integration (MNI)" auf.

Die Mikrosystemtechnik (MST) hat sich von einer Komponenten-orientierten Technologie zu einer Systemtechnologie entwickelt. Am Anfang der MST stand die Integration von Komponenten aus der Mikroelektronik, der Mikrooptik und/ oder der Mikrofluidik zu leistungsfähigen Mikrosystemen mit hoher Funktionalität für eine effiziente und preiswerte Lösung im Vordergrund. Unlängst sind aus den klassischen MST-Komponenten (Sensoren, Aktoren) miniaturisierte Smart Systems (Smart Dust, eGrains, Paintable Computers) entstanden, die bald in vielen Bereichen des täglichen Lebens einziehen werden. Dieser technologische Trend zu kleineren, komplexeren und intelligenten Systemen schreitet zügig voran. Auch in Zukunft wird die MST eine entscheidende Rolle in der Entwicklung von modernen und innovativen Produkten spielen und zur Sicherung und zum Ausbau des Standortes Deutschland einen wesentlichen Beitrag leisten. Eine Vielzahl von künftigen Produkten wird intelligent, energieautark und kabellos miteinander vernetzt sein. Diese Entwicklung spiegelt sich bereits in den Bereichen Smart System Integration, Ambient Assisted Living und Ubiquitous Computing deutlich wider. Aber bereits heute ist absehbar, dass vorhandene Technologien, Prozesse und Materialien an ihre technologischen Grenzen stoßen werden (z.B. Moorsche Gesetz) oder das sie für neue Anwendungen teilweise oder gar nicht geeignet sind (z.B. konventionelle mechanische Montageverfahren für elektronische Bauteile, Pick-and-Place).

Um jedoch der evolutionären Entwicklung der Mikrosystemtechnik Rechnung tragen zu können, ist eine frühzeitige und systematische Weiterentwicklung von Technologien, Prozessen und Materialien notwendig. Neue innovative Ansätze sind zu untersuchen und weiter zu entwickeln. Aufgrund der komplexen Herausforderung wird in diesem Zusammenhang die Interdisziplinarität bzw. die Konvergenz von Technologien eine wichtige Rolle spielen. Durch die Konvergenz von Spitzentechnologien, wie z.B. NBIC (Nanotechnologie, Biotechnologie, Informationstechnik, Kognitionswissenschaften), werden neue Möglichkeiten des wissenschaftlich-technologischen Fortschritts und wirtschaftlichen Wachstums erwartet.

Aufgrund ihres Querschnittscharakters spielt die MST bereits heute eine entscheidende Rolle als Schnittstelle zu anderen Technologien. Ein aktuelles diskutiertes Interface der Mikrosystemtechnik sind die Nanotechnologien. Diese nutzen gezielt einzelne Atome und Moleküle zum Aufbau von Teilchen und kleinen Struktureinheiten, um Werkstoffe mit neuen Eigenschaften, winzigste Maschinen, funktionale Komponenten und ganze Systeme herzustellen, mit dem Ziel, neue und verbesserte Produkteigenschaften zu erhalten. Für die erfolgreiche Verwertung der Nanotechnologie ist die Zusammenarbeit mit einem "Vermittler" zur Mikro-/Makrowelt von essentieller Bedeutung. Die hierfür benötigten Systemtechnologien werden in der Mikrosystemtechnik entwickelt bzw. bereits bereitgestellt. Diese Form der Integration wird als Mikro-Nano-Integration bezeichnet. Die MNI nutzt u.a. die Möglichkeiten der Nanotechnologien für Anwendungen, indem sie die Nanostrukturen und -komponenten in eine Mikro- und Makroumgebung integriert.

Die Mikro-Nano-Integration bildet die Schnittstelle zwischen den immer kleiner werdenden Strukturen der Mikro-/Nanoelektronik und den in der Regel erheblich gröberen Strukturen der Anwendungssysteme. Von der in der MST nutzbaren Entwicklung der Nanotechnologien wird ein kräftiger Entwicklungsschub erwartet. Langfristig bedeutet dies die Entstehung neuer Industrien und Märkte, da die Fortschritte in der Technologie zu einer weiter wachsenden Leistungsfähigkeit von Mikrosystemen führen werden. Die Mikro-Nano-Integration wird in Zukunft eine Schlüsselposition in der Nutzung der Mikrosystemtechnik einnehmen.

Bereits existierende Ansätze für die Mikro-Nano-Integration sind viel versprechend, jedoch weisen diese nicht den notwendigen Reifegrad auf, um sie in einen industriellen Maßstab zu überführen. Es müssen daher wesentliche Anstrengungen in der angewandten Forschung unternommen werden, um die Voraussetzung für eine rasche industrielle Umsetzung der MNI zu schaffen.

Als potentielle Themenfelder der MST, die durch eine Weiterentwicklung der Mikro-Nano-Integration kurz-, mittel- und langfristig profitieren werden, wurden folgende identifiziert:

• Automotive (z. B. Systemzuverlässigkeit),
• Medizintechnik (z. B. intelligente Implantate),
• Packaging (z. B. Weiterentwicklung der klassischen Aufbau- und Verbindungstechnik),
• Konvergierende Technologien für Smart System Integration.

Im Rahmen dieser Bekanntmachung sollen wissenschaftliche Beiträge zur Vorbereitung der oben genannten Themenschwerpunkte gefördert werden.

1.2 Rechtsgrundlagen

Vorhaben können nach Maßgabe dieser Richtlinien, der BMBF-Standardrichtlinien für Zuwendungen auf Ausgaben- bzw. Kostenbasis und der Verwaltungsvorschriften zu §44 Bundeshaushaltsordnung (BHO) durch Zuwendungen gefördert werden. Ein Rechtsanspruch auf Gewährung einer Zuwendung besteht nicht. Der Zuwendungsgeber entscheidet auf Grund seines pflichtgemäßen Ermessens im Rahmen der verfügbaren Haushaltsmittel.

2. Gegenstand der Förderung

Gegenstand der Förderung ist die Entwicklung und Weiterentwicklung von Systemintegrationstechnologien mit Hilfe von nanoskaligen Materialien, Strukturen und darauf basierenden Effekten, ohne die eine Verbesserung der Systemintegration oder die Schaffung neuer bisher nicht realisierbarer Funktionen nicht möglich wären. Hierbei soll es sich um FuE-Arbeiten auf dem Gebiet der Mikro-Nano-Integration, mit folgenden übergeordneten Zielen, handeln:

• Funktionalitäten von Mikrosystemen deutlich zu steigern (z. B. Autonomie, Vernetzung und Sensitivität),
• Integrationsdichten drastisch zu erhöhen,
• Miniaturisierung um mindestens eine Größenordnung umzusetzen,
• Zuverlässigkeit von Mikrosystemen deutlich zu steigern und
• Systemkosten deutlich zu reduzieren.

Die konsequente Weiterentwicklung der MNI wird durch zwei entgegengesetzte Vorgehensweisen bestimmt. Unter dem "Top-down" Ansatz wird die Weiterentwicklung von Herstellungsverfahren verstanden, deren Ursprung und Methodik aus der Mikrosystemtechnik stammt. An erster Stelle sind die technologischen Grundlagen der Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) zu nennen. Kurzfristig müssen mit Hilfe der noch weiter zu entwickelnden AVT höhere Integrationen und funktionale Packages, z. B. für Smart Systems realisiert werden. Die "Bottom-Up" Methode nutzt hingegen physikalisch-chemische Prinzipien der Selbstorganisation aus, um u.a Strukturen herzustellen und/oder Self-Assembly durchzuführen.

Angesprochen sind somit:

• Lösungen im Bereich der Aufbau- und Verbindungstechnik für die skalenübergreifende Systemintegration (Makro-Mikro-Nano), basierend auf neuen Integrationstechnologien unter Nutzung der Nanotechnologie, wie z. B. Selbstorganisation und Formanpassung von Komponenten, "berührungslose" Bauteilmontage, nanoskalige Funktionalisierung von Oberflächen für die Systemintegration.
• Einsatz von Nanoobjekten bzw. Nanostrukturen für die Systemintegration.
• Handling- und Montagetechniken für die Integration von Mikro- und Nanoobjekten, wie z. B. Carbon-Nano-Tubes und/ oder Nanowires in Mikrosysteme.
• Anwendung von Materialien für eine skalenübergreifende Systemintegration auf Basis der Nanotechnologie mit dem Ziel, Systemeigenschaften (z.B. Zuverlässigkeit) zu verbessern und/ oder Systemkosten zu senken.
• Arbeiten auf dem Gebiet der Konvergierenden Technologien, die neue Möglichkeiten und Ansätze für smarte intelligente kognitive Mikro-/ Nanosysteme aufzeigen.

Im Rahmen des thematischen Schwerpunktes "Mikro-Nano-Integration" ist vorgesehen, eine begrenzte Anzahl von wissenschaftlichen Projekten mit jeweils einer Projektlaufzeit von maximal 1 Jahr zu fördern. Ziel ist es, die wissenschaftliche Machbarkeit für das spätere industrielle Umfeld zu prüfen. Ausgehend von den spezifischen Problemen und dem spezifischen Bedarf sollen Nanotechnologie-basierte innovative MST-Ansätze entwickelt werden, die das Potential für eine breite Anwendung aufzeigen.

Nicht gefördert werden Projekte, die sich im Wesentlichen auf folgende Forschungs- und Entwicklungsschwerpunkte konzentrieren, da diese bereits durch andere Aktivitäten des BMBF abgedeckt werden:

• Nanotechnologien, Nanoelektronik und Biotechnologien ohne System- und Integrationsbezug,
• Polymerelektronik,
• Mess- und Prüftechnik für die Mikro-Nano-Integration.

3. Zuwendungsempfänger

Antragsberechtigt im Rahmen von wissenschaftlichen Projekten sind staatliche und nichtstaatliche Hochschulen und außeruniversitäre Forschungseinrichtungen. Forschungseinrichtungen, die gemeinsam von Bund und Ländern grundfinanziert werden, kann nur unter bestimmten Voraussetzungen eine Projektförderung für ihren zusätzlichen Aufwand bewilligt werden.

4. Zuwendungsvoraussetzungen

Die notwendigen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten sind unter Berücksichtigung und Darstellung der wissenschaftichen-technischen Risiken zu planen.

Antragsteller müssen die Bereitschaft zur interdisziplinären Zusammenarbeit mitbringen und durch Vorarbeiten insbesondere im betreffenden Fachgebiet ausgewiesen sein. Ferner wird von den Antragstellern die Bereitschaft zur projektübergreifenden Zusammenarbeit mit andern Vorhaben erwartet. Aufgrund der Bedeutung des Themas für die Gesellschaft wird weiterhin die Mitarbeit an innovationsunterstützenden Maßnahmen des BMBF mit über das Projekt hinausgehender breiter Öffentlichkeitswirksamkeit erwartet.

Antragsteller sollen sich - auch im eigenen Interesse - im Umfeld des national beabsichtigten Vorhabens mit dem EU-Forschungsrahmenprogramm (http://www.cordis.lu) vertraut machen. Sie sollen prüfen, ob das beabsichtigte Vorhaben spezifische europäische Komponenten aufweist und damit eine ausschließliche EU-Förderung möglich ist. Weiterhin ist zu prüfen, inwieweit im Umfeld des national beabsichtigten Vorhabens ergänzend ein Förderantrag bei der EU gestellt werden kann. Das Ergebnis der Prüfungen soll im nationalen Förderantrag kurz dargestellt werden.

Im Rahmen von Verbundprojekten haben die Partner ihre Zusammenarbeit in einer schriftlichen Kooperationsvereinbarung zu regeln. Vor der Förderentscheidung über ein Verbundprojekt muss eine grundsätzliche Übereinkunft der Kooperationspartner über bestimmte vom BMBF vorgegebene Kriterien nachgewiesen werden. Einzelheiten können einem BMBF-Merkblatt - Vordruck 0110 - (http://www.kp.dlr.de/profi/easy/bmbf/pdf/0110.pdf) entnommen werden.

5. Art, Umfang und Höhe der Zuwendungen

Die Zuwendungen können im Wege der Projektförderung als nicht rückzahlbare Zuschüsse gewährt werden.

Bemessungsgrundlage für Hochschulen, Forschungs- und Wissenschaftseinrichtungen und vergleichbare Institutionen sind die zuwendungsfähigen projektbezogenen Ausgaben (bei der Fraunhofer-Gesellschaft - FhG - die zuwendungsfähigen projektbezogenen Kosten), die individuell bis zu 100% gefördert werden können.

Die Bemessung der jeweiligen Förderquote muss den Gemeinschaftsrahmen der EU-Kommission für staatliche FuE-Beihilfen berücksichtigen.

6. Sonstige Zuwendungsbestimmungen

Bestandteil eines Zuwendungsbescheides auf Kostenbasis sind grundsätzlich die Allgemeinen Nebenbestimmungen für Zuwendungen auf Kostenbasis des BMBF an Unternehmen der gewerblichen Wirtschaft für FuE-Vorhaben (NKBF98).

Bestandteil eines Zuwendungsbescheides auf Ausgabenbasis sind die Allgemeinen Nebenbestimmungen für Zuwendungen zur Projektförderung (ANBest-P) und die Besonderen Nebenbestimmungen für Zuwendungen des BMBF zur Projektförderung auf Ausgabenbasis (BNBest-BMBF98).

7. Verfahren

7.1 Einschaltung eines Projektträgers und Anforderung von Unterlagen

Mit der Abwicklung dieser Fördermaßnahme hat das BMBF seinen Projektträger Mikrosystemtechnik, die

VDI/VDE Innovation + Technik GmbH
- Projektträger Mikrosystemtechnik -
Steinplatz 1
10623 Berlin
Tel.: 030 310078-101
Internet: http://www.mstonline.de/foerderung

Ansprechpartner: Frau Paradiso Coskina

beauftragt.

Die Vordrucke für förmliche Förderanträge sowie Richtlinien, Merkblätter, Hinweise und Nebenbestimmungen können über die Internetadresse http://www.mstonline.de/foerderung/skizzen/aktuell abgerufen oder unmittelbar beim Projektträger angefordert werden.

7.2 Vorlage von Projektskizzen

Das Förderverfahren ist zweistufig. In der ersten Stufe sind zunächst beim Projektträger  bis spätestens zum 08. Januar 2007 Projektskizzen möglichst in elektronischer Form unter: www.mstonline.de/foerderung/skizzen/aktuell in deutscher Sprache vorzulegen. Bei Verbundprojekten sind die Projektskizzen in Abstimmung mit dem vorgesehenen Verbundkoordinator einzureichen.

Die Vorlagefrist gilt nicht als Ausschlussfrist. Verspätet eingehende Projektskizzen können aber möglicherweise nicht mehr berücksichtigt werden.

Projektskizzen sollen einen Umfang von maximal 10 DIN A4-Seiten inkl. Anlagen nicht überschreiten. Sie müssen ein fachlich beurteilbares Grobkonzept und eine grobe Finanzplanung beinhalten. Im Grobkonzept sollen die Ziele des wissenschaftlichen Projektes, die Organisationsstruktur und das Arbeitsprogramm vor dem Hintergrund des aktuellen Standes von Forschung und Technologie sowie der Relevanz für die Mikrosystemtechnik erläutert werden.

Für die geplanten Forschungs- und Entwicklungsarbeiten muss eine überzeugende wissenschaftliche Begründung sowie ein wissenschaftliches und wirtschaftliches Verwertungskonzept vorgelegt werden.

Die Gliederung der Projektskizze sollte die im Folgenden aufgeführten Kapitel umfassen und auf die jeweils aufgeführten Themen eingehen:

1. Ziele
2. • Thema des wissenschaftlichen Projektes und Bezug zum Rahmenprogramm Mikrosysteme,
   • Gesamtziel des Projektes und Zusammenfassung der Projektbeschreibung.
3. Struktureller Aufbau
4. • Projektkoordinator (Konsortialführer) und Kontaktdaten (Name des Koordinators mit Anschrift sowie Telefon- und Telefaxnummer, E-Mail Adresse),
   • beteiligte Einrichtungen (Adresse, Ansprechpartner, Anzahl Mitarbeiter),
   • bisherige Arbeiten des Antragstellers/ der Partner,
   • optional: Funktion der einzelnen Partner im Projekt.
5. Vorhabensbeschreibung, Gesamtkonzept
6. • Problembeschreibung,
   • Vergleich mit dem internationalen Stand der Wissenschaft und Technik,
   • thematische Zielsetzung, Wissenschaftliche Arbeitsziele und Vorteile gegenüber konkurrierenden Lösungsansätzen.
7. Beschreibung des Arbeitsplanes
8. • Beschreibung der Arbeitspakete,
   • Meilensteine mit Evaluierungskriterien,
   • optional: Gantt-Chart,
   • optional: Arbeitsteilung (Arbeitsteilung mit Darstellung der Teilaktivitäten, ggf. Zuordnung der verschiedenen Arbeitsschritte zu den jeweiligen Projektpartnern, Zusammenarbeit mit Dritten, Vernetzung der Partner untereinander).
9. Verwertungsplan
10. • Wissenschaftlich-technische und wirtschaftliche Erfolgsaussichten,
    • Vermarktungskonzept mit Zeithorizont:
    • • Wie sollen die Projektergebnisse nach Ablauf des Vorhabens genutzt werden?
      • Welche Zielmärkte (Branchen) werden später angesprochen?
    • Öffentlichkeitsarbeit und projektübergreifende Ergebnisverwertung:
    • • Konzept zur Veröffentlichung der wissenschaftlichen Ergebnisse,
      • Konzept zum Ergebnistransfer in projektfremde Anwendungen und Branchen.
    • Beabsichtigter Umgang mit Rechten und Patenten
11. Notwendigkeit der Zuwendung
12. • Wissenschaftlich-technisches Risiko des Projektes,
    • finanzielles Mengengerüst und Ressourcenplanung:
    • • tabellarische Finanzierungsübersicht,
      • ggf. Beiträge anderer Geldgeber,
      • mögliche Finanzierung durch die Europäische Union.

Es steht den Interessenten frei, weitere Punkte anzufügen, die nach ihrer Auffassung für eine Beurteilung ihres Vorschlages von Bedeutung sind.

Es wird empfohlen, vor der Einreichung der Projektskizzen direkt mit dem Projektträger VDI/VDE-IT unter folgender Telefonnummer Kontakt aufzunehmen: 030/310078 - 101.

Aus der Vorlage der Projektskizzen können keine Rechtsansprüche abgeleitet werden.

7.3 Auswahl- und Entscheidungsverfahren

Die eingegangenen Projektskizzen werden nach folgenden Kriterien bewertet:

• Einordnung in den thematischen Schwerpunkt der Bekanntmachung,
• Wissenschaftlich-technische Qualität der Projektskizze und Anwendungsbezug,
• Neuheit und Innovationsgehalt des Lösungsansatzes,
• Qualifikation der beteiligten Einrichtung(en), Vorhandensein von fachlich qualifizierten personellen Ressourcen zur kurzfristigen Umsetzung des Projektes,
• Qualität des Verwertungskonzeptes,
• Angemessenheit der geplanten finanziellen Aufwendungen.

Auf der Grundlage der Bewertung werden dann die für eine Förderung geeigneten Projektideen ausgewählt. Das Auswahlergebnis wird den Interessenten schriftlich mitgeteilt.

Bei positiver Bewertung werden die Interessenten in einer zweiten Verfahrensstufe unter Angabe detaillierter Informationen aufgefordert, ggf. in Abstimmung mit dem vorgesehenen Verbundkoordinator einen förmlichen Förderantrag vorzulegen. Über die vorgelegten Förderanträge wird nach abschließender Prüfung entschieden. Zur Erstellung von förmlichen Förderanträgen wird die Nutzung des elektronischen Antragssystems "easy" dringend empfohlen (http://www.kp.dlr.de/profi/easy/formular.html).

Für die Bewilligung, Auszahlung und Abrechnung der Zuwendung sowie für den Nachweis und die Prüfung der Verwendung und die ggf. erforderliche Aufhebung des Zuwendungsbescheides und die Rückforderung der gewährten Zuwendung gelten die VV zu §44 BHO sowie §§48 bis 49a VwVfG, soweit nicht in diesen Förderrichtlinien Abweichungen zugelassen worden sind.

8. Inkrafttreten

Diese Förderrichtlinien treten mit dem Tag der Veröffentlichung im Bundesanzeiger in Kraft.

Bonn, den 17.11.2006
Bundesministerium für Bildung und Forschung
Im Auftrag

Dr. Finking