Glossar - Begriff

Lithografie (altgriech. lithos = Stein, altgriech. graphein = schreiben) ist ein Reproduktionsverfahren, bei dem Muster auf Materialien aufgebracht werden. Ursprünglich war Lithografie ein handwerkliches Druckverfahren, das aber heute auch in anderen Bereichen eingesetzt wird. Insbesondere bei der Chipherstellung ist die Fotolithografie - ein Verfahren, bei dem Muster mittels Belichtung aufgebracht werden - nicht mehr wegzudenken. Genau funktioniert die Fotolithografie bei der Chipherstellung so: Ausgangsmaterial sind dünne Siliziumscheiben, die Wafer. Diese werden zunächst mit Fotolack beschichtet und dann im Waferstepper mit dem Abbild einer Maske, einer Art Dia, belichtet. Diese Maske enthält das Muster des Verdrahtungsplanes für einen Chip in zigfacher Ausfertigung. Nach der Belichtung des Wafers wird auf die belichteten (oder unbelichteten) Stellen ein Schutzlack aufgetragen. Die ungeschützten Stellen werden danach mit einem Ätzmittel entfernt und übrig bleibt ein Leiterbahnengeflecht nach dem Muster der Maske. Die weiteren Strukturen entstehen auf ähnliche Weise, in einem Prozess von Geben (z. B. Aufdampfen von Material oder Einbringen von Dotierungen) und Nehmen (z. B. Abätzen oder Polieren).

Zur Broschüre: Förderprogramm Optische Technologien