Epitaxie (griech. Epi = auf und taktos = (in militärischer Weise) angeordnet) bezeichnet ein geordnetes Aufwachsen auf einer Kristalloberfläche. Dabei wird die von einem kristallinen Substrat vorgegebene atomare Ordnung auf eine wachsende Schicht übertragen. Dieser Prozess spielt bei der Herstellung von Siliziumkristallen, die wiederum für die Produktion von Computerchips benötigt werden, eine wichtige Rolle. Damit das Silizium zu Computerchips weiterverarbeitet werden kann, müssen die Siliziumatome in ein strenges, regelmäßiges Gitter eingefügt werden. Dies geschieht mittels der Epitaxie. Dabei wird das Silizium zunächst in Quarzbehältern aufgeschmolzen. Dann wird ein bleistiftdünner Impfkristall, d. h. ein Kristall, der bereits das richtige Gitter aufweist, in das flüssige Silizium abgesenkt. An diesem Kristall docken die Siliziumatome streng nach Vorgabe geordnet, d. h. epitaktisch, an. Der Impfkristall wird in Drehung versetzt und langsam hochgezogen. So wächst ein zentnerschwerer Siliziumkristall heran, aus dem Wafer (Scheiben) für die Chipherstellung hergestellt werden können.
