Umweltfreundliches Reinigungsgas schont das Klima

Mit einem neuen Reinigungsgas sollen die Treibhausgase in der Halbleiterbranche erheblich reduziert werden. Das neue Projekt „ecoFluor“ entwickelt einen alternativen Gasmix zum industriellen Einsatz – gefördert vom Bundesforschungsministerium.

Zur Reinung von Maschinen werden Gase eingesetzt, die der Umwelt schaden. Mit "ecoFlour" soll sich das ändern. © Texas Instruments Deutschland GmbH

Mikrochips für Handys, Laptops oder Taschenrechner werden in Maschinen gefertigt, die nach jedem Arbeitsschritt gründlich gereinigt werden müssen. Bisher geschieht dies mit Stickstofftrifluorid (NF3) – einem Gas, das für die Umwelt etwa 17.000-fach schädlicher ist als Kohlendioxid. Denn es verbleibt besonders lange in der Atmosphäre.

Um den Klimawandel aufzuhalten, wird nach Alternativen gesucht, die weniger Treibhausgase in die Atmosphäre ausstoßen. Das ist auch Ziel des vom Bundesforschungsministerium unterstützten Projekts „ecoFluor“. Ein Team von Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler will ein neues Reinigungsgas entwickeln, das deutlich umweltfreundlicher ist.

© Texas Instruments Deutschland GmbH

Die Vorteile des neuen Reinigungsgases aus Fluor, Stickstoff und Argon: Zur Herstellung ist bis zu 20 Prozent weniger Fluor nötig. Damit wäre das Treibhauspotenzial dann vergleichbar mit dem des Kohlenstoffdioxids (CO2). Außerdem würde der neue Stoff die Reinigungszeit der Maschinen verkürzen und so Kosten einsparen.

Für das Projekt haben sich international agierende Partner aus Chemie- und Halbleiterbranche, Anlagenbau und Forschungseinrichtung zusammengeschlossen. Forscher der Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien haben das vom Chemieunternehmen Solvay entwickelte Gas bereits im Labor erprobt. Mit Hilfe der Technologie der Firma Muegge wird der neue Gasmix ab Januar 2016 am deutschen Standort des Halbleiter-Unternehmens Texas Instruments in der Pilotproduktion weiter verfeinert. Nach der erfolgreichen Testphase soll es in die industrielle Produktion für den weltweiten Markt gehen.

Das Bundesministerium für Bildung und Forschung fördert das Projekt „ecoFluor“ im Rahmenprogramm "Forschung für Nachhaltige Entwicklung" (FONA) mit rund 700.000 Euro.

Mit dem Rahmenprogramm "Forschung für Nachhaltige Entwicklung“ (FONA) unterstützt das Bundesministerium für Bildung und Forschung die Wissenschaft dabei, den Weg hin zu einer nachhaltigen Lebens- und Wirtschaftsweise zu bereiten. Bis zum Jahr 2020 stehen mit der dritten Auflage des Rahmenprogramms zwei Milliarden Euro für die Nachhaltigkeitsforschung bereit.